測量行程(XY)：420x520 mm-660x700 mm
測量高度(Z)：160-400 mm
適用于PCB電路板，手機，墊片密封圈，汽車，機加工，金屬薄片等行業，可添加探針系統，激光系統，白光系統，旋轉夾頭系統，構建復合傳感器測量系統，完成一些特殊尺寸的測量。
使用嶄新的技術，提供高速度與精確度，建立出可靠以及可信賴的測量系統。
該系統包括InSpec測量軟件，可程式化的光學變焦，3X的數碼變焦，非線性平臺補償，非線性光學補償，先進的LED光源系統以及溫度檢測儀。
InSpec測量軟件功能強大：使用鼠標就能輕松編寫程序，專有的系統尋邊功能，先進的光源控制及校正功能，與復合傳感器結合，自動校正，可清晰顯示測量資料及公差。
| 型號 | 測量行程(mm) | 機臺承重 (kg) | XY軸最大速度(mm/s) | Z軸最大速度(mm/s) | 分辨率 | 承載重量 | 外觀尺寸(mm) |
| Excel 511 | 420x520x160 | 732 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1295x1221x1629 |
| Excel 512 | 420x520x250 | 739 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1295x1221x1803 |
| Excel 701 | 660x700x160 | 1611 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1525x1607x1647 |
| Excel 702 | 660x700x250 | 1613 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1525x1607x1819 |
| Excel 704 | 660x700x400 | 1615 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1525x1607x2119 |
